從顆粒檢測到材料溯源，清潔度設備如何科學選型？

在鋰電、汽車、鋼鐵與半導體等制造領域，微米級顆粒與非金屬夾雜物已成為影響可靠性、良率與產品壽命的關鍵因素。清潔度不再只是檢測項目，而是企業核心競爭力的重要組成部分。科學選型，決定質量上限。

01.鋰電清潔度管控

ParticleX Battery 全自動鋰電清潔度檢測

【行業標準】

鋰電池中的銅、鋅、鐵等金屬異物可能導致嚴重的安全事故，對金屬異物的管控也已成為行業共識。飛納電鏡 ParticleX Battery 全自動鋰電清潔度分析系統，基于掃描電鏡 + 能譜法可自動識別、分析和統計銅、鋅、鐵等金屬異物，進而幫助分析異物來源，改善生產條件，減少安全事故的發生。

• 全自動識別、分析、統計銅（Cu）/鋅（Zn）等金屬異物

• ??7x24h 無人值守，隔夜分析

• ??定制化分析程序，滿足各類

磷酸鐵鋰掃描電鏡圖

金屬異物的統計結果（篩分法）

金屬異物的平均成分（篩分法）

自動獲取的磷化鐵的詳細信息

02.汽車清潔度管控

ParticleX AC 全自動汽車清潔度檢測【電鏡法】

ParticleX 全自動汽車清潔度分析系統通過 SEM-EDS 自動化實現顆粒的尺寸、形貌與化學成分分析，被認為是目前“有效的清潔度檢測方法之一”，能夠生成符合 ISO/VDA 標準的標準化報告，顯著提升顆粒污染可溯源性和檢測效率。

• 基于 SEM 和 EDS 成分分析

• 符合 VDA19 和 ISO16232 標準

• 7X24h 全自動分析

• 自動檢測 SiO， AlO 等硬質顆粒并分類

從研發到生產，ParticleX AC 提供的定量數據快速、準確又可靠，一鍵導出報告的功能更是省時省力。目前，奔馳、寶馬、博澤、三電、三花等國內外車企都已投入使用。

MicroQuick 高性價比清潔度快速分析儀

MicroQuick 顆粒掃描儀由 RJL 公司開發，用于快速分析零部件的清潔度。該方法已成為行業標準已有 15 年多的歷史，并且符合 VDA-19.1 和 ISO-16232 標準。這款高分辨率顆粒掃描儀能夠在不到 3 分鐘的時間內自動確定殘留污染物顆粒的數量、大小、形狀以及金屬光澤。

• 行業標準：符合 VDA19 / ISO16232

• 快速簡便：2.5 分鐘內完成過濾分析并生成報告

• 可靠：10 年內零維修案例

• “零”維護：自行校準，自動生成審計報告

03.鋼鐵夾雜物檢測

ParticleX Steel 全自動鋼鐵夾雜物分析

ParticleX Steel 實現了從樣品制備、圖像采集、成分分析到報告生成的全流程自動化。技術突破在于將掃描電鏡與能譜儀一體化集成，能夠自動識別、分析數萬至數十萬個夾雜物顆粒，并依據國際標準進行分類統計。ParticleX 全自動夾雜物分析系統可對大尺寸樣品進行原位統計，輸出夾雜物數量、尺寸分布、體積分數及三元相圖成分分布等結果。相比手動分析，效率提升 10 倍以上，且支持一鍵定位異常夾雜物進行深度分析。

通過 ParticleX Steel，可以獲得如下結果：

01.大量夾雜物的形貌，尺寸，成分，以及分類

02.各類夾雜物的分布情況（按數量分布）

03.不同種類夾雜物的成分及含量信息（均值）

04.將夾雜物的組成分布體現在自定義的三元分布圖

05.極值分析，預測大夾雜物尺寸

06.重新定位特定夾雜物，成分面分布掃描

04.Fastmicro 潔凈室與制程監控

環境落塵顆粒實時監控儀 PFS

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5μm 以上顆粒。結合直觀易用的軟件系統，幫助客戶實現從單純空氣監測向表面潔凈度監測的跨越式升級，為工藝流程優化和潔凈度持續改進提供科學依據。

• 符合 ISO 14644-17 標準

• 可檢測低至 0.5μm 顆粒

• 10 秒完成 2 英寸面積檢測

• 適用于真空與常壓環境

儀器表面顆粒物分析儀 SAS

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取”采樣技術的表面污染檢測工具，可通過間接測量方式識別小至 0.5μm 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面（包括難以觸及區域和高粗糙度表面）實現靈活采樣，且不會殘留可檢測的痕跡。該設備可在數秒內完成 225mm 采樣區域的分析，確保快速獲得精準檢測結果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對沉降顆粒進行檢測，滿足跨行業復雜場景的檢測需求。

• 符合 ISO 14644-9 標準

• 可檢測低至 0.5μm 顆粒

• 90% 采集效率 | >90% 重復性

• 10 秒完成檢測

• ASML 也在用！

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 說到：“作為長期合作伙伴，Fastmicro 的整合應用使我們達成了設備缺陷率指標要求。該設備不僅測量精準，更具備操作簡便和高通量特性。我們高度認可 Fastmicro 的專業服務，并期待未來通過深度合作進一步拓展設備的功能邊界。”