半導體產業超純水制備工藝復雜、難度高

超純水指將水中的導電介質幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。近年來，隨著國家對環保的重視以及半導體行業的迫切發展，超純水這個概念逐漸被公眾所熟知。與普通凈水器用于凈化生活用水不同，超純水一般用于科學研究、工業制造等高品質用水領域。超純水在半導體、核電、燃煤發電、制藥等行業有著極為重要的作用，特別是在半導體和核電領域的巨大應用潛力逐漸浮現。

半導體產業對超純水要求標準較高

在半導體生產中，超純水被用于晶圓沖洗、化學品稀釋、化學機械研磨、潔凈室環境的加濕源等許多場合，超純水的品質與半導體的良品率直接相關。隨著半導體元器件尺寸縮小與精細度上升，超純水水質的技術要求不斷提升，在超純水的生產過程中，只要微粒子、電阻率、TOC以及氣泡中一個指標出現略微差異，就會使半導體元器件生產的合格率下降。半導體超純水水質的參考標準目前由幾個國際組織和團體開發和頒布：國際半導體設備及材料協、國際半導體技術線路圖、美國材料與試驗協會。

超純水制備工藝復雜、難度高

超純水一般用于科學研究、工業制造等高品質用水領域。前者是通過PP棉、顆粒活性炭、精密壓縮活性炭、反滲透膜/超濾膜、后置活性炭這五級濾芯的過濾，濾除細菌、病毒、重金屬離子等有害物質，制得達到生飲標準的飲用水，屬于分子級過濾。后者則是一般工藝很難達到的程度，需要將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術、離子交換技術中的兩種及以上的技術，在各級濾芯、控制元件、增壓泵、紫外燈等的共同作用下，制得符合實驗要求的超純水，屬于離子級過濾，有些超純水機還有軟水器、微濾膜、UV紫外消解儀等可供選配。